高機能Ｏリング(Exzeus) エグゼウスシリーズ

エグゼウスシリーズ

従来よりも特殊な用途に、耐えれるように対応した高機能シールリングシリーズです。 半導体関連や生産設備熱処理・塗装設備等、より過酷な環境向けに耐熱、耐寒、耐プラズマ、耐アミン、非粘着等様々なグレードを取り揃えております。

Exzeus(エグゼウス) 400 series

Exzeus(エグゼウス) 400シリーズは各分野のハイクラスの性能を持つグレード。耐熱性や耐薬品性が求められる場所等、過酷な環境で使用される事の多い、半導体関連やプラント等に。

品番 特性 適応可能プロセス
B401BK耐熱グレード

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  • 優秀な耐熱性
  • 幅広い範囲の耐薬品性
  • 高温域での優秀な圧縮永久歪による高いシール性
  • 優秀な機械的物性
  • 最高使用可能温度：320℃
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  • 熱プロセス
  • 酸化/拡散
  • LPCVD (減圧CVD)
  • Lamp Anneal RTP
  • 加工部材 ※ゴム板シリーズ
A495BK耐熱グレード

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A495BK耐熱グレード
  • 非常に優れた耐熱性
  • 優れた耐薬・耐溶剤・耐油性
  • 高温域での優秀な圧縮永久歪による高いシール性
  • 多様な化学物質に対し優秀な抵抗性
  • 食品衛生法適合材
  • 最高使用可能温度 300℃
  • 各種形状での製作に対応

    ※ゴム板シリーズ

  • 加工部材として高い汎用性

    ※ゴム板シリーズ

  • 小ロットでの製作が可能

    ※ゴム板シリーズ

    • 特設ページはこちら
  • 半導体関連機器
  • 化学プラント
  • 食品プラント
  • 自動車関連
  • プラズマエッチング
  • 加工部材 ※ゴム板シリーズ
A402BK標準グレード

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A401BK標準グレード

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  • 非常に優れた耐薬品性
  • 耐溶剤・耐油性
  • 非常に優れた機械的強度
  • ハイコストパフォーマンスグレード
  • 食品衛生法適合材
  • 最高使用可能温度 200℃
  • 各種形状での製作に対応

    ※ゴム板シリーズ

  • 加工部材として高い汎用性

    ※ゴム板シリーズ

  • 小ロットでの製作が可能

    ※ゴム板シリーズ

  • → 特設ページはこちら
  • 半導体関連機器
  • 化学プラント
  • 食品プラント
  • 自動車関連
  • 加工部材 ※ゴム板シリーズ

Exzeus(エグゼウス) 300 series

Exzeus(エグゼウス) 300 シリーズは、FFKMより低コストで薬品耐性を実現したグレード。

品番 特性 適応可能プロセス
A301BK耐アミン用グレード

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A301BK耐アミン用グレード

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  • 耐アミン性に優れたグレード
  • 良好な耐薬品・耐スチーム性
  • 高温での強酸や強アルカリに対しても優れた耐薬品性を発揮
  • 耐絶縁性も優れたグレード
  • ハイコストパフォーマンスグレード
  • 食品衛生法適合材
  • 最高使用可能温度 200℃
  • 各種形状での製作に対応

    ※ゴム板シリーズ

  • 加工部材として高い汎用性

    ※ゴム板シリーズ

  • 小ロットでの製作が可能

    ※ゴム板シリーズ
  • レジスト塗布
  • レジスト剥離
  • 洗浄工程
  • 半導体関連機器
  • 化学プラント
  • 食品プラント
  • 自動車関連

Exzeus(エグゼウス) 200 series

Exzeus(エグゼウス) 200 シリーズは優れた運動性能や高温蒸気下、低温環境下等、特殊な環境下で使用する事を目的としたグレード。コストパフォーマンスにも優れる。

品番 特性 適応可能プロセス
A200BK耐スチーム性グレード

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A200BK耐スチーム性グレード

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  • 優れた耐薬・耐油・耐スチーム性
  • 食品衛生法適合材
  • 最高使用可能温度：200℃
  • 各種形状での製作に対応

    ※ゴム板シリーズ

  • 加工部材として高い汎用性

    ※ゴム板シリーズ

  • 小ロットでの製作が可能

    ※ゴム板シリーズ

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  • 蒸留などの高温蒸気下での使用可能なFKM

Exzeus(エグゼウス) 100 series

Exzeus(エグゼウス) 100 シリーズはフッ素ゴムの性能を拡張させたグレード。表面処理での非粘着や高温化の性能強化等。限定的な仕様用途においては、従来品からの切り替えで、ランニングコストの削減に！

品番 特性 適応可能プロセス
A101BK耐熱グレード

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A101BK耐熱グレード

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  • 高温でのシール保持性を目的に開発
  • FFKMとFKM中間温度帯をカバーする耐熱グレード
  • FFKMからの切り替えに
  • 最高使用可能温度 280℃
  • 各種形状での製作に対応

    ※ゴム板シリーズ

  • 加工部材として高い汎用性

    ※ゴム板シリーズ

  • 小ロットでの製作が可能

    ※ゴム板シリーズ

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  • 熱プロセス
A111BK非粘着グレード

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  • FKMに表面処理を施し、摩擦力を減らし非粘着とした
  • コーティング処理とは異なる為、効果が持続しやすく剥離の心配がない
  • 最高使用可能温度 220℃
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  • 装着時の摩擦低減
  • 部位の粘着・固着防止

※最高使用可能温度・最低使用可能温度は参考値であり、保証値ではありません。

関連キーワード

弊社の製品は「組み込まれる部品」として使用される事が多く、その性質上同じ部品であっても各業界・業種によって呼び名が異なる事があり、特にエンドユーザー様には分かり辛い部品もあるかと思われます。 そこで関連する用語のキーワードを当ページに埋め込んでおります。もしご興味やご不明な点などございましたらお問い合わせ下さい。

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※TSI及びExzeusはタガミシール株式会社の登録商標です。